Изучение свойств плёнок оксида алюминия, полученных путём реактивного магнетронного распыления мишени алюминия

Изучение свойств плёнок оксида алюминия, полученных путём реактивного магнетронного распыления мишени алюминия

Набор закрыт

ООО «МАППЕР» является контрактным производителем МЭМС приборов для европейских и российских заказчиков. Главное направление деятельности – прототипирование и производство небольших серий МЭМС приборов на 100 мм пластинах. Фабрика оснащена современным оборудованием производства Европы, США и Японии. Чистые производственные помещения занимают 1500 м2, производственная линейка насчитывает более 30 единиц производственного оборудования. В компании «Маппер» работает около 30 инженеров и проходят практику около 10 студентов различных технических ВУЗов. Многие сотрудники компании «Маппер» имеют зарубежный опыт работы в полупроводниковом производстве.

Проект: Изучение свойств плёнок оксида алюминия, полученных путём реактивного магнетронного распыления мишени алюминия.

Цель проекта

Получение плёнок оксида алюминия с заданными свойствами при помощи имеющейся установки магнетронного распыления KJLC PVD75, исследование их свойств.

Краткая характеристика проекта

Плёнки оксида алюминия часто используются в МЭМС-технологии, как «жёсткая» маска для Бош-травления. Оксид алюминия имеет очень высокую селективность по отношению к кремнию в процессе травления в SF6 плазме. Это позволяет использовать крайне малые толщины плёнок Al2O3 для травления глубоких структур в кремнии, что, в свою очередь, позволяет получать мембраны без риска их повреждения под действием механических напряжений в слоях маски. Напыление плёнок Al2O3 путём реактивного распыления Al мишени имеет ряд технологических преимуществ. Одно из них – возможность напыления с DC магнетрона.

Организационная модель проекта

В компании создана рабочая группа для развития проекта. Работа студента планируется в тесном контакте со специалистами из отдела травления и метрологии

Планы развития проекта на ближайшие 1-2 года

6 месяцев – знакомство со структурой производства, оборудованием, изучение основ вакуумной техники и магнетронного распыления

6 месяцев – проведение серии экспериментов, анализ полученных плёнок

6 месяцев – моделирование и оптимизация процесса

6 месяцев – написание отчётов и дипломной работы

Роль и задачи для студентов (научная и бизнес-составляющая)

Изучение процесса напыления, проведение экспериментов, изучение полученных плёнок (EDX-спектроскопия, четырёхзондовые измерения, РЭМ-диагностика, химический анализ), анализ данных и оптимизация параметров напыления.

Бизнес составляющая проекта заключается в оценке выгоды использования пленок оксида алюминия в качестве маски в процессах травления по сравнению с другими пленками, а также разработка модели перехода к маскам из оксида алюминия в некоторых технологических процессах МЭМС производства.

Профиль студентов (ключевые требования к студентам)

Аккуратность, знание основ вакуумной техники, умение построения простых аналитических моделей, дизайн эксперимента

Контактная информация    

Мария Муратова, maria.muratova@mapperllc.ru

Сергей Белостоцкий, sergey.belostotskiy@mapperllc.ru  

Телефон: +7-495-730-22-85