Проект

Микроэлектроника

Изучение свойств плёнок оксида алюминия, полученных путём реактивного магнетронного распыления мишени алюминия

Набор закрыт

ООО «МАППЕР» является контрактным производителем МЭМС приборов для европейских и российских заказчиков. Главное направление деятельности – прототипирование и производство небольших серий МЭМС приборов на 100 мм пластинах. Фабрика оснащена современным оборудованием производства Европы, США и Японии. Чистые производственные помещения занимают 1500 м2, производственная линейка насчитывает более 30 единиц производственного оборудования. В компании «Маппер» работает около 30 инженеров и проходят практику около 10 студентов различных технических ВУЗов. Многие сотрудники компании «Маппер» имеют зарубежный опыт работы в полупроводниковом производстве.

Проект: Изучение свойств плёнок оксида алюминия, полученных путём реактивного магнетронного распыления мишени алюминия.

Цель проекта

Получение плёнок оксида алюминия с заданными свойствами при помощи имеющейся установки магнетронного распыления KJLC PVD75, исследование их свойств.

Краткая характеристика проекта

Плёнки оксида алюминия часто используются в МЭМС-технологии, как «жёсткая» маска для Бош-травления. Оксид алюминия имеет очень высокую селективность по отношению к кремнию в процессе травления в SF6 плазме. Это позволяет использовать крайне малые толщины плёнок Al2O3 для травления глубоких структур в кремнии, что, в свою очередь, позволяет получать мембраны без риска их повреждения под действием механических напряжений в слоях маски. Напыление плёнок Al2O3 путём реактивного распыления Al мишени имеет ряд технологических преимуществ. Одно из них – возможность напыления с DC магнетрона.

Организационная модель проекта

В компании создана рабочая группа для развития проекта. Работа студента планируется в тесном контакте со специалистами из отдела травления и метрологии

Планы развития проекта на ближайшие 1-2 года

6 месяцев – знакомство со структурой производства, оборудованием, изучение основ вакуумной техники и магнетронного распыления

6 месяцев – проведение серии экспериментов, анализ полученных плёнок

6 месяцев – моделирование и оптимизация процесса

6 месяцев – написание отчётов и дипломной работы

Роль и задачи для студентов (научная и бизнес-составляющая)

Изучение процесса напыления, проведение экспериментов, изучение полученных плёнок (EDX-спектроскопия, четырёхзондовые измерения, РЭМ-диагностика, химический анализ), анализ данных и оптимизация параметров напыления.

Бизнес составляющая проекта заключается в оценке выгоды использования пленок оксида алюминия в качестве маски в процессах травления по сравнению с другими пленками, а также разработка модели перехода к маскам из оксида алюминия в некоторых технологических процессах МЭМС производства.

Профиль студентов (ключевые требования к студентам)

Аккуратность, знание основ вакуумной техники, умение построения простых аналитических моделей, дизайн эксперимента

Контактная информация    

Мария Муратова, maria.muratova@mapperllc.ru

Сергей Белостоцкий, sergey.belostotskiy@mapperllc.ru  

Телефон: +7-495-730-22-85