Микроэлектроника – область наиболее массового применения нанотехнологий на сегодняшний день. Рабочие элементы современных микросхем имеют размеры в десятки и даже единицы нанометров. Однако в качестве инструмента формирования этих элементов используется излучение с длиной волны не менее 193 нм. Таким образом задача формирования таких структур сродни «подковать блоху при помощи кувалды».
Из видео вебинара вы узнаете о: