Электронный курс

Наноэлектроника
Нанотехнологии

Вакуумно-плазменные процессы в технологии наноэлектроники

Автор

Голишников Александр Анатольевич, Путря Михаил Георгиевич

Голишников А.А. – к.т.н., Путря М.Г. – д.т.н., профессор

Описание курса

Цель курса

Образовательный ресурс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог, в целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Вакуумно-плазменные процессы в технологии наноэлектроники".

Курс состоит из 11 модулей:

1. Плазменные процессы в наноэлектронике

2. Основные понятия плазменного травления. Технологические и операционные параметры плазменного травления. Современные требования к процессам плазменного травления

3. Процессы плазменного травления функциональных слоев микро- и наноэлектроники. Плазменное травление антиотражающих покрытий при формировании фоторезистивной маски. Формирование «твердой» маски плазменным методом

4. Плазменное травление диоксида кремния и нитрида кремния. Плазменное травление д/э при формировании контактных окон. Особенности травления диэлектрических слоев трехмерных наноструктур. Механизм «задержка РИТ». Эффект микрозагрузки. Эффект зарядки поверхности.

5. Плазменное травление поликремниевых затворов. Травление стековых проводников затвора. Формирование мелкощелевой изоляции

6. Плазменное травление алюминия и его сплавов. Особенности процессов плазменного формирования металлической разводки

7. Классификация процессов ХОГФ функциональных слоев ИМС. Характеристики структуры до и после операции осаждения функционального слоя. Технологические и операционные характеристики процессов осаждения функциональных слоев ИМС

8. Термоактивируемые процессы химического осаждения из газовой фазы. Механизмы термоактивированных процессов ХОГФ. ХОГФ различных функциональных слоев

9. Стимулированное плазмой осаждение пленок различных диэлектрических материалов, тугоплавких металлов и их силицидов, используемых при формировании наноструктур. Стимулированное плазмой осаждение пленок диоксида кремния и нелегированных силикатных стекол. Стимулированное плазмой осаждение пленок нитрида кремния и оксинитрида кремния. Стимулированное плазмой осаждение пленок диэлектриков с низкой диэлектрической постоянной. Стимулированное плазмой осаждение пленок титана, его силицидов и нитридов. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок вольфрама и молибдена

10. Процессы осаждения с дискретной подачей реагентов. Атомно-слоевое осаждение пленок диэлектриков с высокой диэлектрической постоянной. Процессы атомно-слоевого осаждения пленок тантала и его нитридов

11. Процессы физического осаждения из газовой фазы. Магнетронное распыление материалов. Современные магнетронные системы и их особенности

Лабораторные работы:

1. Изучение процесса реактивного ионного травления диэлектрических слоев

2. Исследование процессов формирования наноразмерных структур в кремнии с помощью реактивного ионного травления

3. Изучение процесса плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы для получения тонких диэлектрических пленок при изготовлении изделий наноэлектроники

4. Изучение процесса магнетронного распыления для получения тонких металлических пленок

Категория слушателей:

Специалисты наноиндустрии, относящиеся к категории инженер – технолог.

Документ об окончании:

Электронный сертификат в случае успешного прохождения итогового тестирования

Частые вопросы

Как правильно выстроить процесс обучения по электронному курсу?

Электронный курс – это учебный материал, работа с которым предполагает внимательное изучение. Не приступайте к обучению по электронному курсу в дороге. Выделите для этого свободное время, чтобы Вам никто не мешал, приготовьте бумагу и ручку. Рекомендуем делать записи в процессе работы с курсом – это позволит более глубоко усвоить материал. Доступ к курсу открыт на два месяца, Вы можете возвращаться к материалам курса в любое удобное время, проходить курс несколько раз, в том числе тесты, пока не выберете в системе опцию «Завершить обучение». Система автоматически закроет доступ к курсу через два месяца с момента совершения оплаты или активации курса в случае, если он бесплатный.

Как оплатить доступ к электронному курсу?
  • Банковской картой (VISA/Visa Electron, MasterCard). Мы работаем с платежной системой ChronoPay;
  • Вы можете оплатить доступ к курсу, выбрав один из удобных для Вас вариантов:
  • Через отделения Сбербанка;
  • Банковским переводом.

Подробная информация об оплате услуг.

Что такое личный кабинет и как им пользоваться?

Личный кабинет – это инструмент, который позволяет быстро и в доступной форме познакомиться с необходимой для обучения информацией. Пользователь может просмотреть свои текущие задачи, отредактировать личную информацию, задать вопросы специалистам, а также просмотреть расписание своих учебных мероприятий. Личный кабинет состоит из следующих разделов:

  • Мои программы и курсы (показывает как назначенные программы и курсы, по которым планируется либо проходит обучение, так и уже завершенные);
  • Календарь (расписание учебных мероприятий);
  • Портфолио (копии личных документов пользователя, выполненные практические работы, а также выданные сертификаты. Все документы доступны для скачивания);
  • Личная информация (телефон, e-mail и другая информация, личные данные можно менять по мере необходимости);
  • Помощь (подробная инструкция по личному кабинету, FAQ, система обращений к администратору по обучению и системному администратору).
Могу ли я задать вопрос автору/преподавателю курса/программы?

Общение с автором и/или преподавателем строго регламентировано учебной программой и осуществляется в рамках образовательного процесса в отведенном для этого месте и в строго оговоренное время. Большинство наших электронных курсов не имеет авторского сопровождения, общение с авторами/преподавателями доступно только в рамках программ повышения квалификации. Если у вас возник вопрос к авторам курса, напишите его на enano@rusnano.com, мы постараемся помочь с ответом.

Что такое электронный сертификат и как его получить?

Электронный сертификат – это документ, подтверждающий успешное освоение программы курса и прохождение итогового тестирования. Сертификат является именным, зарегистрированным в системе под своим уникальным номером. Для получения сертификата слушателю необходимо освоить материалы курса, успешно выполнить промежуточные и итоговый тесты и завершить обучение, нажав на соответствующую кнопку. Электронный сертификат будет сгенерирован автоматически в личном кабинете.

Какие требования к компьютерному оборудованию и каналам связи необходимо соблюсти для обучения онлайн?

Требования к среде:

  • Операционная система windows vista/7/8; mac os 10.5+
  • Экран с диагональю не менее 15”;
  • Процессор pentium 1 гГц или выше;
  • Оперативная память 512 мб или выше;
  • Свободное дисковое пространство 200 мб;
  • Минимальное разрешение дисплея по горизонтали 1024 точек;
  • Минимальное разрешение по вертикали 768 точек;
  • Глубина цвета дисплея 16 бит (65536 цветов) или выше;
  • Звуковая карта 16 бит, совместимая с ос (для аудио сопровождения);
  • Браузер Google Chrome версия 26 и выше; IE 8.0 и выше; Safari (Mac) версия 6.0 и выше.

Основные требования:

  • Компонент Adobe Flash Player, версия не ниже 9 (установить с сайта Adobe).
  • Колонки, наушники или встроенный динамик - для звукового сопровождения курса.

Выдаем документ об окончании

Электронный сертификат в случае успешного прохождения итогового тестирования