Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог, в целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Вакуумно-плазменные процессы в технологии наноэлектроники".
Курс содержит 11 видеолекций, тестирования для самопроверки усвоения материала, проектное задание и 4 лабораторных работы:
- изучение процесса реактивного ионного травления диэлектрических слоев;
- исследование процессов формирования наноразмерных структур в кремнии с помощью реактивного ионного травления;
- изучение процесса плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы для получения тонких диэлектрических пленок при изготовлении изделий наноэлектроники;
- изучение процесса магнетронного распыления для получения тонких металлических пленок.
