Технология нанолитографии

60 дней

Курс поможет подготовить работников компаний наноиндустрии к процедуре сертификации по теме: Технология нанолитографии

Стоимость обучения

Бесплатно

Пройти

Тема

Микроэлектроника, Технологии, Профстандарт

Формат

Курс

Уровень

Базовый

Тип обучения

Самостоятельно

Описание курса

Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог, в целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Технология нанолитографии".

Курс содержит видеолекции, тестирование для самопроверки усвоения материала, проектное задание и лабораторные работы:

проведение процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность кремниевой пластины методом центрифугирования;
проведение процесса формирования фоторезистивной защитной маски с требуемой топологией и размерами элементов под заданный функциональный слой интегральной структуры на кремниевой пластине;
исследование процесса формирования топологического рисунка в функциональном слое методом реактивного ионного травления. Изучение теоретических сведений и практических демонстрационных видеоматериалов;
исследование процесса формирования топологического рисунка в функциональном слое методом реактивного ионного травления. Изучение теоретических сведений и практических демонстрационных видеоматериалов;
технология наноимпринт литографии.

Будет полезно

Инженерам-технологам

Выдаем документ об окончании

Электронный сертификат АНО "еНано"

Пройти

Вы будете

Слушать видеолекции

Проходить тестирование

Программа курса

01 Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах производства интегральных приборов, схем и систем с нанометровыми топологическими нормами

02 Основные виды процессов нанолитографии, используемых в процессе производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами

03 Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) оптической нанолитографии. Состав и основные принципы построения комплекса современного оборудования оптической нанолитографии

04 Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) наноимпринт литографии. Состав и основные принципы построения комплекса современного оборудования наноимпринт литографии

05 Тенденции развития процессов нанолитографии для производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами

06 Оборудование оптической нанолитографии и наноимпринт литографии, его операционные параметры и конструкционно-технологические характеристики

07 Комплектующие изделия и материалы, используемые в оборудовании и технологии (технике) оптической нанолитографии и наноимпринт литографии, и принципы выработки требований к ним

08 Принципы отработки режимов процессов оптической нанолитографии и наноимпринт литографии

09 Методы и оборудование контроля дефектов в процессах оптической нанолитографии и наноимпринт литографии

10 Тенденции развития процессов нанолитографии для производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами

Скачать программу .PDF

Размер: 292,63 KB

Цифровые навыки

Практические навыки работы с системой дистанционного обучения

Освоение на практике правил работы с электронным курсом в слайдовом и/или видеоформате

Опыт составления информационных запросов и поиска необходимой информации

Авторы

КИРЕЕВ В.Ю

Мобильное приложение edunano.ru

Проходить обучение стало ещё удобнее: смотрите видео, проходите тесты, участвуйте в вебинарах, регистрируйтесь на мероприятия с вашего смартфона