Электронный курс

Наноэлектроника
Профстандарт
Наноматериалы
Нанотехнологии

Проектирование фотошаблонов для производства наносистем

Описание курса

В основе курса лежит разработанный авторами профессиональный стандарт «Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем», утвержденный Минтрудом в 2014 году.

Реализация в кремнии проектных решений, описывающих современную интегральную схему, начинается с конструирования и изготовления специального прецизионного инструмента, несущего информацию о топологии схемы, — соответствующего набора промежуточных фотомасок (фотошаблонов), которые являются оснасткой соответствующего литографического оборудования. Другими словами, данный набор фотошаблонов составляет ядро промышленного освоения планарных технологий.

В курсе представлены основы современных методов проектирования и подготовки данных для их производства с использованием специализированного программного обеспечения мировых лидеров в данной области — Cadence, Synopsys, Mentor Graphics.  Рассмотрены процессы и проблемы формирования изображений сверхмалых размеров, алгоритмы и методы хранения и обработки информации для изготовления фотошаблонов, предложены практические занятия по коррекции оптических эффектов для подавления искажений, вызванных дифракционными явлениями, средствами специализированных программных платформ. Также перечислены мероприятия по увеличению выхода годных при изготовлении фотошаблонов и мероприятия по аттестации фотошаблонов, проведение которых позволяет гарантировать качество изготовленного фотошаблона и соответствие его проектным данным.

Цель курса

Совершенствование и качественное повышение профессионального уровня компетенций для выполнения следующих видов профессиональной деятельности в рамках имеющейся квалификации для профессионального стандарта «Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем (включая наносенсорику и интегральные схемы)»:

  • Разработка маршрута проектирования фотошаблонов в технологии субмикронного и нанометрового диапазонов;
  • Проектирование фотошаблонов микро- и нанометрового уровней технологии и подготовка управляющей информации для их изготовления.

Образовательные результаты

В результате освоения программы слушатель будет

знать:

  • целевые системы автоматизированного проектирования фотошаблонов, средства разработки программ;
  • маршруты разработки и проектирования фотошаблонов;
  • методики верификации фотошаблонов;
  • методы создания моделей коррекции оптических эффектов близости;
  • особенности литографического процесса и особенности конкретного оборудования для фотолитографии;
  • технологию производства интегральных схем и проектирования фотошаблонов;

владеть (уметь):

  • техникой использования технической документации на проектирование и разработку фотошаблонов;
  • методами проектирования фотошаблонов и подготовки управляющей информации для их изготовления согласно маршрутной карте для заданного технологического уровня;
  • методиками работы со специализированными программными платформами проектирования и верификации фотошаблонов;
  • способами коррекции оптических эффектов близости в пределах используемой системы автоматизированного проектирования;
  • проведения обработки топологии фотошаблонов в соответствии с требованиями технического задания;
  • использовать и правильно (эффективно) комбинировать алгоритмы и программы для оптимального проектирования фотошаблонов;проводить коррекцию оптической близости, основанную на математических моделях, наборе правил проектирования, с учетом вариации процесса;
  • осуществлять калибровку модели литографического процесса;
  • проводить конвертацию топологических данных во внутренний формат оборудования;
  • создавать служебные элементы фотошаблонов: метки совмещения, мультипликации, штрих-код, текстовые метки;
  • проводить сборку готового фотошаблона: подключать баркод, проверять метки совмещения, метки контроля, тестовые структуры, топологию;
  • осуществлять конвертацию управляющей информации в формат литографического оборудования;
  • читать и применять технические нормативные документы (маршрутные и технологические карты, внутренние регламенты организации);
  • проводить анализ топологии фотошаблонов применительно к технологии их изготовления и используемому технологическому оборудованию;
  • осуществлять перевод данных в управляющую информацию для лазерного или электронно-лучевого генератора изображений, установок контроля критических размеров, аттестации на дефектность;
  • применять методологию контроля линейных размеров топологических элементов;
  • автоматизировать этапы разработки, запуска и анализа результатов тестов;
  • создавать тестовые фотошаблоны для построения математической модели;

иметь навыки:

  • построения схем автоматизации на базе скриптовых языков систем автоматизированного проектирования;
  • осуществления анализа проектных решений топологии фотошаблонов применительно к технологии их изготовления и используемому технологическому оборудованию;
  • проведения анализа конструкторской документации на соответствие государственным нормативным;
  • работы с нормативными документами, регламентирующими конструкторскую деятельность по фотошаблонам;
  • использования целевых систем автоматизированного проектирования, программных средств и систем автоматизированного проектирования фотошаблонов;
  • проведения полного цикла автоматизированного проектирования фотошаблона;
  • повторного использования проектной информации, хранящейся в базе данных на сервере;
  • определения оптимизированного размещения топологии кристалла с помощью специализированных программных платформ;
  • разработки методов проектирования фазосдвигающих фотошаблонов;
  • разработки маршрутов аттестации фотошаблонов через измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе; определение и классификация дефектов; сравнение исходных и проектных топологических данных с реализованными на шаблоне заданного технологического уровня.

Авторы:

Кононов А.Н., к.ф.-м.н., Миленький Д.М., Кононова В.А., Аваков С.М., д.т.н., Трапашко А.Г., к.т.н., Киреев В.А., д.т.н., Глебов А.Л., д.т.н., Кононов Н.А., Овчинников В.А., к.т.н.

Категория слушателей: 

Специалисты по проектированию и изготовлению фотошаблонов суб- и нанометрового уровня технологии, аспиранты и студенты соответствующего профиля.

Документ об окончании: 

Электронный сертификат в случае успешного прохождения итогового тестирования

Часто задаваемые вопросы

Как правильно выстроить процесс обучения по электронному курсу?

Электронный курс – это учебный материал, работа с которым предполагает внимательное изучение. Не приступайте к обучению по электронному курсу в дороге. Выделите для этого свободное время, чтобы Вам никто не мешал, приготовьте бумагу и ручку. Рекомендуем делать записи в процессе работы с курсом – это позволит более глубоко усвоить материал. Доступ к курсу открыт на два месяца, Вы можете возвращаться к материалам курса в любое удобное время, проходить курс несколько раз, в том числе тесты, пока не выберете в системе опцию «Завершить обучение». Система автоматически закроет доступ к курсу через два месяца с момента совершения оплаты или активации курса в случае, если он бесплатный.

Как оплатить доступ к электронному курсу?
  • Банковской картой (VISA/Visa Electron, MasterCard). Мы работаем с платежной системой ChronoPay; 
  • Вы можете оплатить доступ к курсу, выбрав один из удобных для Вас вариантов:
  • Через отделения Сбербанка; 
  • Банковским переводом.

Подробная информация об оплате услуг.

Что такое личный кабинет и как им пользоваться?

Личный кабинет – это инструмент, который позволяет быстро и в доступной форме познакомиться с необходимой для обучения информацией. Пользователь может просмотреть свои текущие задачи, отредактировать личную информацию, задать вопросы специалистам, а также просмотреть расписание своих учебных мероприятий. Личный кабинет состоит из следующих разделов:

  •  Мои программы и курсы (показывает как назначенные программы и курсы, по которым планируется либо проходит обучение, так и уже завершенные);
  • Календарь (расписание учебных мероприятий); 
  • Портфолио (копии личных документов пользователя, выполненные практические работы, а также выданные сертификаты. Все документы доступны для скачивания); 
  • Личная информация (телефон, e-mail и другая информация, личные данные можно менять по мере необходимости); 
  • Помощь (подробная инструкция по личному кабинету, FAQ, система обращений к администратору по обучению и системному администратору).
Могу ли я задать вопрос автору/преподавателю курса/программы?

Общение с автором и/или преподавателем строго регламентировано учебной программой и осуществляется в рамках образовательного процесса в отведенном для этого месте и в строго оговоренное время. Большинство наших электронных курсов не имеет авторского сопровождения, общение с авторами/преподавателями доступно только в рамках программ повышения квалификации. Если у вас возник вопрос к авторам курса, напишите его на enano@rusnano.com, мы постараемся помочь с ответом.

Что такое электронный сертификат и как его получить?

Электронный сертификат – это документ, подтверждающий успешное освоение программы курса и прохождение итогового тестирования. Сертификат является именным, зарегистрированным в системе под своим уникальным номером. Для получения сертификата слушателю необходимо освоить материалы курса, успешно выполнить промежуточные и итоговый тесты и завершить обучение, нажав на соответствующую кнопку. Электронный сертификат будет сгенерирован автоматически в личном кабинете.

Какие требования к компьютерному оборудованию и каналам связи необходимо соблюсти для обучения онлайн?

Требования к среде:

  • Операционная система windows vista/7/8; mac os 10.5+
  • Экран с диагональю не менее 15”;
  • Процессор pentium 1 гГц или выше;
  • Оперативная память 512 мб или выше;
  • Свободное дисковое пространство 200 мб;
  • Минимальное разрешение дисплея по горизонтали 1024 точек;
  • Минимальное разрешение по вертикали 768 точек;
  • Глубина цвета дисплея 16 бит (65536 цветов) или выше;
  • Звуковая карта 16 бит, совместимая с ос (для аудио сопровождения);
  • Браузер Google Chrome версия 26 и выше; IE 8.0 и выше; Safari (Mac) версия 6.0 и выше.

Основные требования:

  • Компонент Adobe Flash Player, версия не ниже 9 (установить с сайта Adobe).
  • Колонки, наушники или встроенный динамик - для звукового сопровождения курса.

Выдаем документ об окончании

Электронный сертификат в случае успешного прохождения итогового тестирования