Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур
500
250
Срок доступа 60 дней
Описание курса

Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог.

В целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур".

Содержание курса
1
Эллипсометрия

Введение. Основные понятия

2
Эллипсометрия

Коэффициенты Френеля

3
Эллипсометрия

Поляризованный свет

4
Эллипсометрия

Методы решения обратной задачи. Определение сходимости модели по χ2. Точность определения параметров системы. Ошибки и погрешности

5
Эллипсометрия

Представление моделируемых материалов

6
Эллипсометрия

Аппаратура

7
Современная элипсометрия

8
Зондовые методы анализа

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ

9
Зондовые методы анализа

Измерение линейных размеров методом растровой электронной микроскопии

10
Зондовые методы анализа

Основы рентгенфлюоресцентной спектроскопии

11
Зондовые методы анализа

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ

12
Зондовые методы анализа

Возможности и общие принципы методов контроля микрорельефа поверхности. Особенности зондов и сканнеров, используемых для контроля микрорельефа. Влияние атмосферы и других внешних факторов на результаты исследования. Обзор существующих приборов

13
Зондовые методы анализа

Контактные зондовые методы исследования поверхности

14
Зондовые методы анализа

Полуконтактные и бесконтактные методы исследования поверхности

15
Зондовые методы анализа

Примеры и особенности использования методов зондового контроля микрорельефа поверхности. Исследование свойств поверхности

16
Зондовые методы анализа

Методы измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов

Лабораторные работы:

  • 1. Эллипсометрия. Знакомство с прибором. Типичные измерения
  • 2. Эллипсометрия. Проведение картирования
  • 3. Эллипсометрия. Исследование многослойных структур
  • 4. Эллипсометрия. Исследование структур с учетом моделирования шероховатости
  • 5. Зондовые методы анализа. Изучение устройства и принципов работы растрового электронного микроскопа
  • 6. Зондовые методы анализа. Энергодисерсионный рентгеновский микроанализ
  • 7. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности твердых тел методом СЗМ в контактном режиме
  • 8. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности
  • 9. Зондовые методы анализа. Использование дополнительных методик при изучении объектов
  • 10. Зондовые методы анализа. Четырехзондовый метод измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов и тонких металлических слоев
ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ
автор курса
По окончании курса вы сможете
ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ
Для кого этот курс
специалисты наноиндустрии, относящиеся к категории инженер-технолог.
ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ
Отзывы
Отзывов пока нет
Авторизуйтесь, чтобы оставить отзыв
ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ
Выдаем документ об окончании