Электронный курс

Наноэлектроника

Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур

Описание курса

Цель курса

Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог, в целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур".

Курс состоит из 16 модулей:

1. Эллипсометрия. Введение. Основные понятия

2. Эллипсометрия. Коэффициенты Френеля

3. Эллипсометрия. Поляризованный свет

4. Эллипсометрия. Методы решения обратной задачи. Определение сходимости модели по χ2. Точность определения параметров системы. Ошибки и погрешности

5. Эллипсометрия. Представление моделируемых материалов

6. Эллипсометрия. Аппаратура

7. Современная элипсометрия

8. Зондовые методы анализа. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ

9. Зондовые методы анализа. Измерение линейных размеров методом растровой электронной микроскопии

10. Зондовые методы анализа. Основы рентгенфлюоресцентной спектроскопии

11. Зондовые методы анализа. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ

12. Зондовые методы анализа. Возможности и общие принципы методов контроля микрорельефа поверхности. Особенности зондов и сканнеров, используемых для контроля микрорельефа. Влияние атмосферы и других внешних факторов на результаты исследования. Обзор существующих приборов

13. Зондовые методы анализа. Контактные зондовые методы исследования поверхности

14. Зондовые методы анализа. Полуконтактные и бесконтактные методы исследования поверхности

15. Зондовые методы анализа. Примеры и особенности использования методов зондового контроля микрорельефа поверхности. Исследование свойств поверхности

16. Зондовые методы анализа. Методы измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов


Лабораторные работы:

1. Эллипсометрия. Знакомство с прибором. Типичные измерения

2. Эллипсометрия. Проведение картирования

3. Эллипсометрия. Исследование многослойных структур

4. Эллипсометрия. Исследование структур с учетом моделирования шероховатости

5. Зондовые методы анализа. Изучение устройства и принципов работы растрового электронного микроскопа

6. Зондовые методы анализа. Энергодисерсионный рентгеновский микроанализ

7. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности твердых тел методом СЗМ в контактном режиме

8. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности 

9. Зондовые методы анализа. Использование дополнительных методик при изучении объектов

10. Зондовые методы анализа. Четырехзондовый метод измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов и тонких металлических слоев

Категория слушателей:

Специалисты наноиндустрии, относящиеся к категории инженер-технолог.

Документ об окончании: 

Электронный сертификат в случае успешного прохождения итогового тестирования

Часто задаваемые вопросы

Как правильно выстроить процесс обучения по электронному курсу?
Электронный курс – это учебный материал, работа с которым предполагает внимательное изучение. Не приступайте к обучению по электронному курсу в дороге. Выделите для этого свободное время, чтобы Вам никто не мешал, приготовьте бумагу и ручку. Рекомендуем делать записи в процессе работы с курсом – это позволит более глубоко усвоить материал. Доступ к курсу открыт на два месяца, Вы можете возвращаться к материалам курса в любое удобное время, проходить курс несколько раз, в том числе тесты, пока не выберете в системе опцию «Завершить обучение». Система автоматически закроет доступ к курсу через два месяца с момента совершения оплаты или активации курса в случае, если он бесплатный.
Как оплатить доступ к электронному курсу?
  • Банковской картой (VISA/Visa Electron, MasterCard). Мы работаем с платежной системой ChronoPay; 
  • Вы можете оплатить доступ к курсу, выбрав один из удобных для Вас вариантов:
  • Через отделения Сбербанка; 
  • Банковским переводом.
  • Подробная информация об оплате услуг.

Что такое личный кабинет и как им пользоваться?

Личный кабинет – это инструмент, который позволяет быстро и в доступной форме познакомиться с необходимой для обучения информацией. Пользователь может просмотреть свои текущие задачи, отредактировать личную информацию, задать вопросы специалистам, а также просмотреть расписание своих учебных мероприятий. Личный кабинет состоит из следующих разделов:

  •  Мои программы и курсы (показывает как назначенные программы и курсы, по которым планируется либо проходит обучение, так и уже завершенные);
  • Календарь (расписание учебных мероприятий); 
  • Портфолио (копии личных документов пользователя, выполненные практические работы, а также выданные сертификаты. Все документы доступны для скачивания); 
  • Личная информация (телефон, e-mail и другая информация, личные данные можно менять по мере необходимости); 
  • Помощь (подробная инструкция по личному кабинету, FAQ, система обращений к администратору по обучению и системному администратору).
Могу ли я задать вопрос автору/преподавателю курса/программы?
Общение с автором и/или преподавателем строго регламентировано учебной программой и осуществляется в рамках образовательного процесса в отведенном для этого месте и в строго оговоренное время. Большинство наших электронных курсов не имеет авторского сопровождения, общение с авторами/преподавателями доступно только в рамках программ повышения квалификации. Если у вас возник вопрос к авторам курса, напишите его на enano@rusnano.com, мы постараемся помочь с ответом.
Что такое электронный сертификат и как его получить?
Электронный сертификат – это документ, подтверждающий успешное освоение программы курса и прохождение итогового тестирования. Сертификат является именным, зарегистрированным в системе под своим уникальным номером. Для получения сертификата слушателю необходимо освоить материалы курса, успешно выполнить промежуточные и итоговый тесты и завершить обучение, нажав на соответствующую кнопку. Электронный сертификат будет сгенерирован автоматически в личном кабинете.


Какие требования к компьютерному оборудованию и каналам связи необходимо соблюсти для обучения онлайн?

Требования к среде:

  • Операционная система windows vista/7/8; mac os 10.5+
  • Экран с диагональю не менее 15”;
  • Процессор pentium 1 гГц или выше;
  • Оперативная память 512 мб или выше;
  • Свободное дисковое пространство 200 мб;
  • Минимальное разрешение дисплея по горизонтали 1024 точек; 
  • Минимальное разрешение по вертикали 768 точек;
  • Глубина цвета дисплея 16 бит (65536 цветов) или выше;
  • Звуковая карта 16 бит, совместимая с ос (для аудио сопровождения);
  • Браузер Google Chrome версия 26 и выше; IE 8.0 и выше; Safari (Mac) версия 6.0 и выше.

Основные требования:

  • Компонент Adobe Flash Player, версия не ниже 9 (установить с сайта Adobe).
  • Колонки, наушники или встроенный динамик - для звукового сопровождения курса.
 

Выдаем документ об окончании

Электронный сертификат в случае успешного прохождения итогового тестирования