Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур
Описание курса
Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог.
В целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур".
В процессе обучения предлагается решать задания нескольких лабораторных работ:
1. Эллипсометрия. Знакомство с прибором. Типичные измерения
2. Эллипсометрия. Проведение картирования
3. Эллипсометрия. Исследование многослойных структур
4. Эллипсометрия. Исследование структур с учетом моделирования шероховатости
5. Зондовые методы анализа. Изучение устройства и принципов работы растрового электронного микроскопа
6. Зондовые методы анализа. Энергодисерсионный рентгеновский микроанализ
7. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности твердых тел методом СЗМ в контактном режиме
8. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности
9. Зондовые методы анализа. Использование дополнительных методик при изучении объектов
10. Зондовые методы анализа. Четырехзондовый метод измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов и тонких металлических слоев
Выдаем документ об окончании
Электронный сертификат АНО "еНано"
Вы будете
Слушать видеолекции
Проходить тестирование
Программа курса
- Введение. Основные понятия
- Коэффициенты Френеля
- Поляризованный свет
- Методы решения обратной задачи
- Определение сходимости модели по χ2
- Точность определения параметров системы
- Ошибки и погрешности
- Представление моделируемых материалов
- Аппаратура
- Современная элипсометри
- Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ
- Измерение линейных размеров методом растровой электронной микроскопии
- Измерение линейных размеров методом растровой электронной микроскопии
- Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ
- Возможности и общие принципы методов контроля микрорельефа поверхности
- Особенности зондов и сканнеров, используемых для контроля микрорельефа
- Влияние атмосферы и других внешних факторов на результаты исследования
- Обзор существующих приборов
- Контактные зондовые методы исследования поверхности
- Полуконтактные и бесконтактные методы исследования поверхности
- Примеры и особенности использования методов зондового контроля микрорельефа поверхности
- Исследование свойств поверхности
- Методы измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов
Цифровые навыки
Практические навыки работы с системой дистанционного обучения
Освоение на практике правил работы с электронным курсом в слайдовом и/или видеоформате
Опыт составления информационных запросов и поиска необходимой информации
на обработку персональных данных
Мобильное приложение edunano.ru
